| Municipio | Región | Latitud | Longitud |
| Abundancia | Atacama | -27.1175800 | -69.8574700 |
| Acerillo | Atacama | -26.7833300 | -69.6000000 |
| Adela | Atacama | -27.6623700 | -70.1035400 |
| Adelaida | Atacama | -26.6767000 | -69.7217400 |
| Aeródromo Chamonate | Atacama | -27.2666700 | -70.3833300 |
| Aeródromo Chañaral | Atacama | -26.3322100 | -70.6084800 |
| Aeródromo Potrerillos | Atacama | -26.3802800 | -69.4762600 |
| Aeródromo Vallenar | Atacama | -28.5959900 | -70.7562400 |
| Africana | Atacama | -27.0763500 | -69.9943600 |
| Agua | Atacama | -27.0760700 | -70.8184900 |
| Agua Adentro | Atacama | -28.6092800 | -70.9919100 |
| Agua Amarga | Atacama | -27.2500000 | -69.8333300 |
| Agua de Díaz | Atacama | -28.0500000 | -70.5166700 |
| Agua de Doro | Atacama | -29.2346500 | -71.1028600 |
| Agua de La Cruz | Atacama | -25.9203900 | -69.3431000 |
| Agua de La Falda | Atacama | -25.6784100 | -69.1108700 |
| Agua de La Piedra | Atacama | -25.7166700 | -69.2500000 |
| Agua de La Varilla | Atacama | -28.8834400 | -71.3735900 |
| Agua de Las Vacas | Atacama | -28.7287900 | -70.7040200 |
| Agua de Lazo | Atacama | -28.1250500 | -70.8131400 |
| Agua del Burro | Atacama | -25.9195700 | -69.3520200 |
| Agua del Maray | Atacama | -25.9353800 | -69.4016800 |
| Agua del Medio | Atacama | -27.3510400 | -69.7456400 |
| Agua del Pozo | Atacama | -25.9208400 | -69.2880600 |
| Agua del Sol | Atacama | -26.8505100 | -70.0545100 |
| Agua Dulce | Atacama | -25.9372500 | -69.4051300 |
| Agua Escondida | Atacama | -28.6750000 | -70.9783200 |
| Agua Mala | Atacama | -27.8904100 | -69.2359600 |
| Agua Nuevo | Atacama | -28.5870700 | -70.6316100 |
| Aguada Agua de Araya | Atacama | -28.6338600 | -70.4251700 |
| Aguada Agua de la Falda | Atacama | -28.6349700 | -70.2352600 |
| Aguada Agua de la Paloma | Atacama | -28.6014500 | -70.2211400 |
| Aguada Agua de la Piedra | Atacama | -25.7166700 | -69.2166700 |
| Aguada Agua de las Vacas | Atacama | -28.6303400 | -70.4089800 |
| Aguada Agua de Los Mineros | Atacama | -28.6197600 | -70.4543000 |
| Aguada Aguadita | Atacama | -28.6099500 | -70.9858800 |
| Aguada Alfenillas | Atacama | -27.4500000 | -70.4500000 |
| Aguada Algarrobo | Atacama | -27.0836800 | -70.5250200 |
| Aguada Algarrobo Quemado | Atacama | -26.7050800 | -70.6266000 |
| Aguada Algodones | Atacama | -28.1366000 | -71.0100800 |
| Aguada Amarga | Atacama | -27.1932800 | -69.9030400 |
| Aguada Arenilla | Atacama | -27.4581300 | -70.1053800 |
| Aguada Áspera | Atacama | -26.6389700 | -70.6392600 |
| Aguada Astorga | Atacama | -28.4712000 | -70.7316600 |
| Aguada Breitas | Atacama | -28.7937200 | -70.9121500 |
| Aguada Cáceres | Atacama | -28.0666700 | -70.5333300 |
| Aguada Cachimba | Atacama | -28.1833300 | -70.5333300 |
| Aguada Cachiyuyo | Atacama | -29.0966900 | -70.7213600 |
| Aguada Calavera | Atacama | -28.3577900 | -70.6156700 |
| Aguada Carrizo | Atacama | -28.6166700 | -71.0333300 |
| Aguada Casa de Piedra | Atacama | -28.8226500 | -70.6540100 |
| Aguada Castilla | Atacama | -26.2824900 | -69.4619700 |
| Aguada Castillo | Atacama | -27.8044000 | -70.5584700 |
| Aguada Chacritas | Atacama | -28.3861600 | -70.7085200 |
| Aguada Chañar | Atacama | -28.9562400 | -70.6322700 |
| Aguada Chanchero | Atacama | -27.6968700 | -70.4397400 |
| Aguada Chépica | Atacama | -28.4094700 | -71.0452600 |
| Aguada Corral de Pirca | Atacama | -28.6300400 | -70.3515900 |
| Aguada Cortadera | Atacama | -28.0280300 | -70.0407300 |
| Aguada de Aballay | Atacama | -26.4000000 | -70.4666700 |
| Aguada de Acerillo | Atacama | -26.1166700 | -69.4333300 |
| Aguada de Antibillaco | Atacama | -28.1316900 | -70.0934800 |
| Aguada de Chañarcito | Atacama | -26.4833300 | -70.0666700 |
| Aguada de Chulo | Atacama | -27.2646400 | -70.1785700 |
| Aguada de Flamenco | Atacama | -26.8666700 | -70.0500000 |
| Aguada de Higueritas | Atacama | -28.3611000 | -70.3664300 |
| Aguada de Infieles | Atacama | -26.0166700 | -69.0666700 |
| Aguada de La Brea | Atacama | -26.9446400 | -70.6831700 |
| Aguada de la Changa | Atacama | -26.4495600 | -70.6737600 |
| Aguada de la Cruz | Atacama | -25.9333300 | -69.3333300 |
| Aguada de la Diuca | Atacama | -28.5798700 | -70.2686700 |
| Aguada de la Encantada | Atacama | -25.8845600 | -69.1992800 |
| Aguada de La Falda | Atacama | -29.0207000 | -70.6571800 |
| Aguada de la Justa | Atacama | -27.6646800 | -70.5008900 |
| Aguada de la Piedra | Atacama | -25.7113300 | -69.2580600 |
| Aguada de La Pólvora | Atacama | -25.7772300 | -69.5341600 |
| Aguada de La Salitrosa | Atacama | -26.7333300 | -70.3833300 |
| Aguada de Llampos | Atacama | -27.1715800 | -70.0318700 |
| Aguada de Los González | Atacama | -27.9651900 | -70.6095400 |
| Aguada de los Pajaritos | Atacama | -27.0467300 | -70.0414000 |
| Aguada de Panul | Atacama | -26.3833300 | -69.6666700 |
| Aguada de Pedernales | Atacama | -26.4096200 | -69.2851800 |
| Aguada de San Juan | Atacama | -26.4166700 | -69.4166700 |
| Aguada de Vaca Seca | Atacama | -28.3566000 | -70.2990100 |
| Aguada de Vara | Atacama | -28.7166700 | -71.1666700 |
| Aguada de Varas | Atacama | -26.7833300 | -69.6000000 |
| Aguada del Bolsón | Atacama | -25.7608900 | -69.2527600 |
| Aguada del Carricito | Atacama | -25.8443500 | -69.6663600 |
| Aguada del Carrizo | Atacama | -25.9486000 | -69.4885400 |
| Aguada del Castaño | Atacama | -27.7413100 | -69.8213100 |
| Aguada del Fierro | Atacama | -27.1606800 | -70.5923100 |
| Aguada del Indio Muerto | Atacama | -26.2166700 | -69.5333300 |
| Aguada del Morado | Atacama | -26.9404900 | -70.3099200 |
| Aguada del Pimiento | Atacama | -26.5194300 | -70.0470200 |
| Aguada del Porvenir | Atacama | -26.6470200 | -69.8536000 |
| Aguada del Salitre | Atacama | -25.9751800 | -69.2354900 |
| Aguada del Salto | Atacama | -26.8166700 | -69.5833300 |
| Aguada del Zapallo | Atacama | -28.8578400 | -71.0558800 |
| Aguada Don Beno | Atacama | -27.9301500 | -70.4246700 |
| Aguada Doña Inés | Atacama | -26.1210200 | -69.4101700 |
| Aguada Dulce | Atacama | -26.4393100 | -69.5153700 |
| Aguada El Bolo | Atacama | -27.1422600 | -69.5560800 |
| Aguada El Carbón | Atacama | -29.1099800 | -70.9593200 |
| Aguada El Carrizo | Atacama | -28.8817500 | -70.6606900 |
| Aguada El Cura | Atacama | -28.5457100 | -70.5526400 |
| Aguada El Milagro | Atacama | -28.5486700 | -70.2655400 |
| Aguada El Molle | Atacama | -28.9388800 | -70.6127200 |
| Aguada El Peñón | Atacama | -28.2333300 | -70.6500000 |
| Aguada El Romerito | Atacama | -29.1476900 | -70.9884300 |
| Aguada El Romero | Atacama | -28.7483600 | -70.6055500 |
| Aguada El Romero Viejo | Atacama | -28.7076200 | -70.7376900 |
| Aguada El Salto | Atacama | -28.8874600 | -70.6468500 |
| Aguada El Sauce | Atacama | -26.7290200 | -70.6082700 |
| Aguada El Sombrerito | Atacama | -28.5760100 | -70.2781200 |
| Aguada El Toro | Atacama | -28.5263200 | -70.6337800 |
| Aguada Escondida | Atacama | -26.3666700 | -69.7000000 |
| Aguada Exploradora | Atacama | -25.8035100 | -69.3174200 |
| Aguada Falda | Atacama | -26.7067400 | -70.6370800 |
| Aguada Galleguillos | Atacama | -27.0838000 | -70.3082000 |
| Aguada Gertrudes | Atacama | -27.7731300 | -70.9080000 |
| Aguada Gres | Atacama | -27.3170200 | -70.3050800 |
| Aguada Helada | Atacama | -26.1528400 | -69.2412800 |
| Aguada Higuera | Atacama | -28.9053600 | -71.3637000 |
| Aguada Higuerita | Atacama | -28.7609700 | -70.8560800 |
| Aguada La Brea | Atacama | -25.8882700 | -69.8063200 |
| Aguada La Chañarala | Atacama | -26.3918700 | -70.6251200 |
| Aguada La Chillaneja | Atacama | -26.6851400 | -70.5917000 |
| Aguada La Compañía | Atacama | -28.5417200 | -70.5973000 |
| Aguada La Cortadera | Atacama | -28.7902600 | -70.6937000 |
| Aguada La Escondida | Atacama | -26.6333300 | -70.5833300 |
| Aguada La Falda | Atacama | -26.2166700 | -70.5833300 |
| Aguada La Higuera | Atacama | -28.8000000 | -71.1500000 |
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